一種多晶硅切片回收液脫水機組，具有干燥塔和列管式換熱器，所述干燥塔與真空抽吸裝置連接；所述干燥塔內(nèi)設(shè)有噴霧器，噴霧器具有中空基體和噴霧頭，噴霧頭包括由內(nèi)向外設(shè)置且同圓心的圓盤噴霧頭、內(nèi)圈噴霧頭和外圈噴霧頭，圓盤噴霧頭與內(nèi)圈噴霧頭之間、內(nèi)圈噴霧頭與外圈噴霧頭之間各由３～４條支撐筋連接，中空基體與圓盤噴霧頭之間由中間直管連接，中空基體與內(nèi)圈噴霧頭之間通過３～４根均勻布置的內(nèi)圈彎管連接，中空基體與外圈噴霧頭之間通過３～４根均勻布置的外圈彎管連接，所述中空基體通過其頂部的液管與進料管連接。本實用新型采取將多晶硅切片回收液在列管式換熱器與干燥塔之間循環(huán)，在真空環(huán)境中實現(xiàn)霧化干燥，脫水效果明顯。